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    中國國家電子級超純水GB/TII446.1-1997標準

    更新時間:2015-09-15      點擊次數:3224

    中國國家電子級超純水GB/TII446.11997標準



     指標\級別

     EW

     EW

    EW 

    EW-

     電阻率 MΩ,cm(25)

    18以上,(95%時間)不低於17

    15,(95%時間)不低於13

     12.0   

    0.5   

     全矽,zui大值,μg/L

    2

    10

    50

    1000

     1μm微粒數,zui大值,個/mL

    0.1

    5

    10

    500

     細菌個數,zui大值,個/mL

    0.01

    0.1

    10

    100

     銅,zui大值,μg/L

    0.2

    1

    2

    500

     鋅,zui大值,μg/L

    0.2

    1

    5

    500

     鎳,zui大值,μg/L

    0.1

    1

    2

    500

     鈉,zui大值,μg/L

    0.5

    2

    5

    1000

     鉀,zui大值,μg/L

    0.5

    2

    5

    500

     氯,zui大值,μg/L

    1

    1

    10

    1000

     硝酸根,zui大值,μg/L

    1

    1

    5

    500

     磷酸根,zui大值,μg/L

    1

    1

    5

    500

     硫酸根,zui大值,μg/L

    1

    1

    5

    500

     總有機酸,zui大值,μg/L

    20

    100

    200

    1000


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